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产品分类 / PRODUCT
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产品介绍/ PRODUCT PRESENTATION| 品牌 | 其他品牌 | 供货周期 | 一个月以上 |
|---|---|---|---|
| 应用领域 | 医疗卫生,环保,生物产业,农业,能源 |
ADL直流溅射电源
直流溅射电源GS 05 - GS 30
紧凑型设备已开发用于生产和实验室设施中较小的磁子。由于操作简单安全，电源可以非常灵活地使用。
弧形处理自动适应不同的过程参数，因此无需编程工作。这些设备设计用于安装在 19" 组件中。
输出功率0.5-3.0kW
空气 1/2 19" 内置住房， 3R
可互换接口模块
电压、电流和电源的数字显示屏
通过前面板手动操作
自动弧形处理
直流溅射电源GS 60–GS 150
GS 60 – GS 150 系列的气冷直流电源有三种操作变种：主动前面板、被动前面板和状态 LED。电源可在不限制切换时间的情况下全额定功率运行。
几个模块的并行操作是可能的。GS 60–GS 150系列，像所有ADL电源一样，具有极快的自动弧线取消。设备的操作非常简单和安全。
输出功率 6.0 - 15kW
空气
19" 内置住房， 3U
无潜力输出
焦耳时尚
自动弧形处理
直流溅射电源GSW 100–GSW 300
可同时运行至240kW，可增加输出功率。有了特殊的电路概念，"主奴隶布线"可以免除。即使在非空调客房，高效的水冷却也可确保的可靠性。
这些设备可以通过活动前面板或界面手动操作。提供各种前面板和接口模块。极快的弧形处理*自动工作，即使在并行操作中也不需要外部同步。
输出功率10-30kW
水冷却
19"住房， 3 U
电磁阀控制
无潜力输出
并行运行至240kW
自动弧形处理
直流溅射电源GX 50–GX 150
GX 溅射电源能够自动擦除高达每秒 80，000 个弧。性能，加上小尺寸，是GX系列的突出标志。
这些设备可以全额定功率运行，不受切换时间的限制，也可以并行连接。
输出功率5-15kW
水冷却
1/2 19" 住房， 3U
无潜力输出
焦耳时尚
自动弧形处理
直流溅射电源 HX 150 - HX 300
1/2 19"宽度和5U的极其紧凑的设计是专门为生产工厂开发的，其中将不配用控制柜。HX 具有安装选项卡，可直接集成到任何安装位置的系统中。
显示屏是旋转的，可以从设备中分离出来。即使在非空调客房，高效的水冷却也可确保的可靠性。为了避免凝结，可以通过集成温度控制连接外部电磁阀。
可同时运行至240kW，可增加输出功率。特殊的电路概念允许主奴隶操作和并行控制通过界面组合或Provibus。极快的弧形处理*自动工作，因此无需设置参数。
输出功率 15kW 至 30kW
并行运行至240kW
水冷却
电磁阀控制
带灰尘颗粒分离器的住房通风
1/219" 住房， 5U
法兰格紧固件
M8 女线起重机小眼
可拆卸旋转显示屏
自动弧形处理
离子源电源
对于离子源(考夫曼和ECR)的操作，提供各种特殊设备，也可以根据要求提供其他输出电压或服务。
所有设备均可选择配备模拟接口或与 Profibus 连接。
脉冲发生器、选项和配件
PULSE 发电机 RD 300 与大多数 ADL 电源一起，按照共振开关原理工作。由于效率*(30kW时为99.5%)，该设备非常紧凑，只能产生150W的低耗电量。
现有系统可以很容易地进行改装，因为发电机与直流电源并行直接连接到阴极。该设备的工作频率为 2kHz。但是，使用外部信号发生器，频率可在 0.2 到 3kHz 之间变化。几个发电机可以通过控制线进行自动同步连接。
单极脉冲发生器 SD 30、SD 150 和 SD 300
脉冲发生器与ADL直流电源一起生成单极脉冲。这些设备的固定频率为 20kHz。使用外部信号发生器，频率变化范围从 1kHz 到 40kHz 不等。发电机具有自动电弧抑制。
行程级别和中断时间的参数会自动适应相应的过程。不需要用户通常的编程。几个发电机可以通过控制线进行同步连接。设备自动切换到外部同步。
输出功率 3 千瓦，15 千瓦，30 千瓦
并行运行至240千瓦
自动弧形处理
无潜力输出
自动同步
空气
非常紧凑的设计
法兰格紧固件
中频和双极脉冲发生器 SB 300
双极脉冲发生器 SB 300 既可用作中频发生器，以生成平衡交替电流，也可用于非对称方脉冲的双极脉冲器。通过特殊的功率商控制，双磁子的目标寿命可以精确对称。
两种不同的目标材料也可以用不对称的脉冲能力进行控制。Qotienten 控制器通过脉冲宽度调制 (PWM) 自动设置脉冲时间。该设备的固定频率为 20kHz。发电机具有自动电弧抑制。
行程级别和中断时间的参数会自动适应相应的过程。不需要用户通常的编程!几个发电机可以通过控制线进行同步连接。设备自动切换到外部同步。
输出功率 30kW，交流电
主/奴隶或并行操作中的设备组合，可达 240kW
比率功率控制器
自动同步
水冷却
非常紧凑的设计
无潜力输出
模块化系统允许 HX (DC) 与单极脉冲发生器 (SD) 或双极脉冲发生器 (SB) 的组合
紧凑型 1/2 19" 设计
双极脉冲发生器与PWM控制保证对称溅射!
超高速和全自动弧形管理
过程可重复性：优于 1-2%
ADL直流溅射电源
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